一、 产品用途：
广泛应用于半导体，电子光电集成、精密陶瓷、冶金、玻璃、化工、机械、耐火材料、特种材料、建材、高校、科研院所、工矿企业做无氧胶固化、粉末焙烧、材料表面处理、高校、科研院所、做真空气氛烧结、气氛还原、排胶、CVD实验、真空退火等。
二、设备技术规格：
设备名称：高温无氧洁净烘箱 型号：TS- WY 品牌：AEGMAT
1.技术参数：
1）温度范围：RT+25~200℃ 可根据客户定制
2）温度均匀性：150℃±3℃，200度±4℃（空载测试）
5）控温精度：±0.3℃
6）温度波动度：±1℃ （空载，恒温状态下测试）
7）氧含量： ＜100PPM
8）排氧时间：<10min
9）加热方式：内部热风循环加热
10）升温速率：每分钟6-7度，降温速率通过降温系统可实现程序降温
11）内腔尺寸：W600xD500xH400
13）箱体结构：单门结构
14）降温方式：强制·风冷+辅助气冷＋水冷.配置氮气比例系统，可程序降温
15）电源功耗：AC 380V 50HZ ，单个箱体 4KW
16洁净度检测方法：≤50ea@≥0.3μm空气采样流量：2.83L/min，0.3μm60以下，0.5μm50以下
2.箱体结构：
1）工作室材质：采用1.5mm厚SUS304#镜面洁净不锈钢板，氩弧焊满烧工艺，外壁做槽型加强结构，确保箱体牢固，高温、不发生形变，内部光亮平整，密封性良好。
2）外箱材质：采用1.5mm拉丝不锈钢，
3）加强结构：箱体底部及中间骨架采用槽钢加强，确保箱体结构强度及承重性良好。
4）保温材料：采用氧化铝陶瓷纤维耐高温防火阻燃材料填充，保温层厚度80-100mm，箱体表面温度<45℃
5）密封条：采用耐高温一体成型硅胶材质，连续耐温260℃以上，抗老化，密封性良好，长期耐高温。
6）把手铰链：采用不锈钢拉手，锌合金高承重机械铰链，易开易关，密封良好。
7），如果客户要求温度高，门口配备水冷门框，内部设计降温风道仓，水冷盘管降温处理
3.控制系统
3.1温度控制系统：
采用不锈钢加热管加热方式，，实现工作腔室内均匀升温。可连续使用2-3万小时
1）温控模块：采用西门子PLC，7寸触摸屏人机界面，欧姆龙温度控制器，可编程控制，带曲线界面，数据导出，485通讯接口，控温精度0.3级，智能PID演算，传感器断线警报，AT自整定，超温抑制，断电记忆功能，控温精准，稳定性好
2）传感器：采用A级PT100铂金电阻传感器，精度±0.15%，耐高温抗干扰屏蔽信号线，温度精准，反馈灵敏
3）接触器品牌: 施耐德
4）执行组件：AD+SSR固态继电器，脉冲加热。
5）排气口：直径60mm .1个，风阀执行器，降温阶段阀门开启，风道仓排气口一个，直径100mm
1） 鼓风电机：采用750W大功率三相耐高温离心散热风机，1台
2） 过滤系统：高效百级过滤器每个箱体1个，0.1μ颗粒过滤效率99.99%,
3） 支持标准的SECS/GEM通讯协议，并支持EAP连接，配有MAS接口
5.安全保护系统：
1）漏电保护
2）接地保护
3）过载、过流保护
4）超温保护
5）独立限温
6）工作状态指示（运行-绿色，待机-黄色，故障-红色）
7.电器组件：
所有配套电器均采用符合国际安全认证的国际一线大厂知名品牌正规渠道正品，确保设备安全可靠，运行稳定。
8、使用环境要求：
1）环境条件：温度 5～40℃；湿度 ≤85%R.H；
2）电源：AC380V50HZ 三相五线
3）无强烈振动，无强磁场影响，无腐蚀性气体；
4）环境气压：86～106Kpa；
5）箱体周围应留有500mm的空间供产品安装、检修使用
一、 产品用途：
广泛应用于半导体，电子光电集成、精密陶瓷、冶金、玻璃、化工、机械、耐火材料、特种材料、建材、高校、科研院所、工矿企业做无氧胶固化、粉末焙烧、材料表面处理、高校、科研院所、做真空气氛烧结、气氛还原、排胶、CVD实验、真空退火等。
二、设备技术规格：
设备名称：高温无氧洁净烘箱 型号：TS- WY 品牌：AEGMAT
1.技术参数：
1）温度范围：RT+25~200℃ 可根据客户定制
2）温度均匀性：150℃±3℃，200度±4℃（空载测试）
5）控温精度：±0.3℃
6）温度波动度：±1℃ （空载，恒温状态下测试）
7）氧含量： ＜100PPM
8）排氧时间：<10min
9）加热方式：内部热风循环加热
10）升温速率：每分钟6-7度，降温速率通过降温系统可实现程序降温
11）内腔尺寸：W600xD500xH400
13）箱体结构：单门结构
14）降温方式：强制·风冷+辅助气冷＋水冷.配置氮气比例系统，可程序降温
15）电源功耗：AC 380V 50HZ ，单个箱体 4KW
16洁净度检测方法：≤50ea@≥0.3μm空气采样流量：2.83L/min，0.3μm60以下，0.5μm50以下
2.箱体结构：
1）工作室材质：采用1.5mm厚SUS304#镜面洁净不锈钢板，氩弧焊满烧工艺，外壁做槽型加强结构，确保箱体牢固，高温、不发生形变，内部光亮平整，密封性良好。
2）外箱材质：采用1.5mm拉丝不锈钢，
3）加强结构：箱体底部及中间骨架采用槽钢加强，确保箱体结构强度及承重性良好。
4）保温材料：采用氧化铝陶瓷纤维耐高温防火阻燃材料填充，保温层厚度80-100mm，箱体表面温度<45℃
5）密封条：采用耐高温一体成型硅胶材质，连续耐温260℃以上，抗老化，密封性良好，长期耐高温。
6）把手铰链：采用不锈钢拉手，锌合金高承重机械铰链，易开易关，密封良好。
7），如果客户要求温度高，门口配备水冷门框，内部设计降温风道仓，水冷盘管降温处理
3.控制系统
3.1温度控制系统：
采用不锈钢加热管加热方式，，实现工作腔室内均匀升温。可连续使用2-3万小时
1）温控模块：采用西门子PLC，7寸触摸屏人机界面，欧姆龙温度控制器，可编程控制，带曲线界面，数据导出，485通讯接口，控温精度0.3级，智能PID演算，传感器断线警报，AT自整定，超温抑制，断电记忆功能，控温精准，稳定性好
2）传感器：采用A级PT100铂金电阻传感器，精度±0.15%，耐高温抗干扰屏蔽信号线，温度精准，反馈灵敏
3）接触器品牌: 施耐德
4）执行组件：AD+SSR固态继电器，脉冲加热。
5）排气口：直径60mm .1个，风阀执行器，降温阶段阀门开启，风道仓排气口一个，直径100mm
1） 鼓风电机：采用750W大功率三相耐高温离心散热风机，1台
2） 过滤系统：高效百级过滤器每个箱体1个，0.1μ颗粒过滤效率99.99%,
3） 支持标准的SECS/GEM通讯协议，并支持EAP连接，配有MAS接口
5.安全保护系统：
1）漏电保护
2）接地保护
3）过载、过流保护
4）超温保护
5）独立限温
6）工作状态指示（运行-绿色，待机-黄色，故障-红色）
7.电器组件：
所有配套电器均采用符合国际安全认证的国际一线大厂知名品牌正规渠道正品，确保设备安全可靠，运行稳定。
8、使用环境要求：
1）环境条件：温度 5～40℃；湿度 ≤85%R.H；
2）电源：AC380V50HZ 三相五线
3）无强烈振动，无强磁场影响，无腐蚀性气体；
4）环境气压：86～106Kpa；
5）箱体周围应留有500mm的空间供产品安装、检修使用
